真空連續(xù)型流水線等離子清洗機使用方法

該類型配備連續(xù)真空腔體，操作需增加真空系統(tǒng)的控制步驟，處理精度更高，適用于復(fù)雜結(jié)構(gòu)或精密工件。

1、開機前準(zhǔn)備

除常規(guī)的電源、氣源檢查外，重點檢查真空系統(tǒng)：真空泵油位是否正常，密封閘閥、腔體密封圈是否完好，真空計是否精準(zhǔn)；

工件需裝入專用真空工裝托盤，避免工件在真空腔中移位，精密件（如晶圓）需在無塵環(huán)境下裝夾。

2、參數(shù)設(shè)定

真空參數(shù)：設(shè)定腔體真空度（通常 1-100Pa，半導(dǎo)體件選 1-10Pa）、抽真空時間（5-10 分鐘，按腔體體積調(diào)整）；

等離子參數(shù)：設(shè)定射頻 / 微波功率（100-500W）、氣體流量（10-50sccm）、等離子處理時間（與傳送帶速度聯(lián)動，通常 30 秒 - 5 分鐘）；

連續(xù)作業(yè)參數(shù)：設(shè)定密封閘閥的開關(guān)頻率（適配工件輸送節(jié)奏），確保腔體真空度穩(wěn)定的同時實現(xiàn)連續(xù)進(jìn) / 出料。

3、試運行與真空驗證

啟動真空系統(tǒng)，測試腔體能否達(dá)到預(yù)設(shè)真空度，閘閥開關(guān)是否順暢，無漏氣現(xiàn)象；

放入試樣試處理，通過表面能檢測、顆粒度檢測（精密件）驗證效果，達(dá)標(biāo)后進(jìn)入正式運行。4、正式運行與停機

啟動自動模式后，設(shè)備將自動完成 “工件進(jìn)腔 - 抽真空 - 等離子處理 - 破真空 - 出料” 連續(xù)流程；

停機時需先停止工件輸送，待腔體內(nèi)工件全部出料后，關(guān)閉等離子電源，再逐步破真空（避免腔體壓差過大損傷密封件），最后關(guān)閉真空泵和總電源。

日常使用關(guān)鍵操作要點

工藝參數(shù)優(yōu)化技巧

表面能不足：降低傳送帶速度、提高功率、縮短噴頭與工件距離，或增加反應(yīng)性氣體（如氧氣）比例；

工件表面損傷（如塑料發(fā)黃）：降低功率、增大噴頭距離、開啟冷卻模塊，或更換惰性氣體（如純氬氣）；

處理均勻性差：檢查噴頭是否堵塞、傳送帶是否跑偏，寬幅噴頭需調(diào)節(jié)分區(qū)功率平衡。

設(shè)備維護(hù)與保養(yǎng)

每日維護(hù)：清潔噴頭表面的積塵和附著物（用無塵布蘸酒精擦拭），檢查傳送帶張緊度，排放氣源過濾器中的積水；

每周維護(hù)：檢查氣體管路接頭是否松動，真空型設(shè)備需清理腔體內(nèi)部的雜質(zhì)，更換真空泵油濾芯；

每月維護(hù)：校準(zhǔn)等離子功率和真空計，檢查電極損耗情況（常壓型噴頭電極每 3-6 個月更換一次）。

安全操作規(guī)范

操作人員需佩戴防護(hù)眼鏡和防靜電手環(huán)，避免直視等離子射流（強光傷眼）；

禁止在設(shè)備運行時打開安全防護(hù)罩，禁止處理易燃易爆工件（如帶有機溶劑的工件）；

真空型設(shè)備運行時，禁止強行打開腔體閘閥，防止氣壓差導(dǎo)致工件飛出或腔體損壞。

常見故障及快速解決